Оксид гафнію
Оксид гафнію | |
Маса | 3,5E−25 кг[1] |
---|---|
Хімічна формула | HfO₂[1] |
Канонічна формула SMILES | O=[Hf]=O[1] |
Оксид гафнію(IV) — бінарна неорганічна сполука металу гафнію та кисню з формулою HfO2, безбарвні кристали або білий порошок, нерозчинний у воді, з розчинів солей виділяється у вигляді кристалогідрату.
Спалювання металевого гафнію у кисні:
- .
Дією перегрітої пари на металічний гафній:
- .
Розкладанням при нагріванні дигідроксид-оксиду гафнію :
- .
Окисненням киснем хлориду гафнію(IV) :
- .
Розкладанням при нагріванні оксид-дихлориду гафнію :
- .
Розкладанням перегрітою па́рою оксид-дихлориду гафнію :
- .
Піролізом оксалату, сульфату та інших солей гафнію:
- .
Оксид гафнію (IV) являє собою безбарвні кристали, в дрібнодисперсному стані — білий порошок, що кристалізується в декількох кристалічних модифікаціях:
- Моноклінна сингонія, параметри комірки a = 0,511 нм, b = 0,514 нм, c = 0,528 нм, β = 99,73°, густина 9,68 г/см³, стійкий за температури нижче 1650 °С.
- Тетрагональна сингонія, параметри комірки a = 0,514 нм, c = 0,525 нм, густина 10,01 г/см³, стійкий при температурі від 1650 °С до ≈2500 °С.
- Кубічна сингонія, параметри комірки a = 0,511 нм, густина10,43 г/см³, стійкий за температури вище ~2500 °С.
Не розчиняється у воді, р ПР = 63,94.
Діоксид гафнію є малопридатним матеріалом для промислового виробництва через присутність в ньому кисню, незначні домішки якого негативно впливають на механічні якості металу – метал стає дуже крихким, погано піддається обробці.
Гафній використовується в оптичних покриттях і як діелектрик з високою діелектричною проникністю в конденсаторах DRAM і в передових пристроях метал-оксид-напівпровідник.[2] Оксиди на основі гафнію були представлені Intel у 2007 році як заміна оксиду кремнію в ізоляторі затвора в польових транзисторах.[3] Перевагою для транзисторів є його висока діелектрична проникність: діелектрична проникність HfO2 в 4-6 разів вища, ніж у SiO2.[4] Діелектрична проникність та інші властивості залежать від способу осадження, складу та мікроструктури матеріалу.
Оксид гафнію (а також легований і дефіцитний оксид гафнію) привертає додатковий інтерес як можливий кандидат для пам’яті з резистивним перемиканням[5] і CMOS-сумісних сегнетоелектричних польових транзисторів (пам’ять FeFET ) і мікросхем пам’яті.[6][7][8][9]
Через свою дуже високу температуру плавлення гафній також використовується як вогнетривкий матеріал в ізоляції таких пристроїв, як термопари, де він може працювати при температурах до 2500 °C.[10]
Багатошарові плівки з діоксиду гафнію, кремнезему та інших матеріалів були розроблені для використання в пасивному охолодженні будівель. Плівки відбивають сонячне світло та випромінюють тепло на довжинах хвиль, які проходять через земну атмосферу, і можуть мати температуру на кілька градусів нижче, ніж навколишні матеріали за тих самих умов.[11]
- ↑ а б в Hafnium(IV) oxide
- ↑ H. Zhu; C. Tang; L. R. C. Fonseca; R. Ramprasad (2012). Recent progress in ab initio simulations of hafnia-based gate stacks. Journal of Materials Science. 47 (21): 7399—7416. Bibcode:2012JMatS..47.7399Z. doi:10.1007/s10853-012-6568-y.
- ↑ Intel (11 November 2007). Intel's Fundamental Advance in Transistor Design Extends Moore's Law, Computing Performance.
- ↑ G. D. Wilk; R. M. Wallace; J. M. Anthony (2001). High-κ gate dielectrics: Current status and materials properties considerations. Journal of Applied Physics. 89 (10): 5243—5275. Bibcode:2001JAP....89.5243W. doi:10.1063/1.1361065.
- ↑ K.-L. Lin та ін. (2011). Electrode dependence of filament formation in HfO2 resistive-switching memory. Journal of Applied Physics. 109 (8): 084104–084104–7. Bibcode:2011JAP...109h4104L. doi:10.1063/1.3567915.
- ↑ Imec (7 June 2017). Imec demonstrates breakthrough in CMOS-compatible Ferroelectric Memory.
- ↑ The Ferroelectric Memory Company (8 June 2017). World's first FeFET-based 3D NAND demonstration.
- ↑ T. S. Böscke; J. Müller; D. Bräuhaus (7 Dec 2011). Ferroelectricity in hafnium oxide: CMOS compatible ferroelectric field effect transistors. 2011 International Electron Devices Meeting. IEEE. с. 24.5.1–24.5.4. doi:10.1109/IEDM.2011.6131606. ISBN 978-1-4577-0505-2.
- ↑ Nivole Ahner (August 2018). Mit HFO2 voll CMOS-kompatibel (нім.). Elektronik Industrie.
- ↑ Very High Temperature Exotic Thermocouple Probes product data, Omega Engineering, Inc., retrieved 2008-12-03
- ↑ Aaswath Raman | Innovators Under 35 | MIT Technology Review. August 2015. Процитовано 2 вересня 2015.