1664 — Роберт Гук публікує свою працю «Мікрографія», збірку біологічних гравюр мікросвіту, де вводить термін клітина для структур, які він побачив у корі коркового дуба. Книга, надрукована у вересні 1664 (часто датується 1665 роком), суттєво вплинула на популяризацію мікроскопії, головним чином завдяки чудовим ілюстраціям.
1674 — Антоні ван Левенгук удосконалює мікроскоп: тепер прилад дозволяє бачити одноклітинні організми. Мікроскоп Левенгука доволі простий: це звичайна пластинка з лінзою в центрі. Спостерігач має дивитися крізь лінзу на закріплений з іншого боку зразок, крізь який проходило яскраве світло від вікна або свічки. Незважаючи на простоту, конструкція дозволяла отримати збільшення, яке у декілька разів перевищувало кратність мікроскопів того часу: це дозволило вперше побачити еритроцити, бактерії (1683), дріжджі, найпростіших, сперматозоїди (1677), будову очей комах і м'язових волокон, інфузорії та багато їх форм. Левенгук відшліфував понад п'ятисот лінз і виготовив принаймні 25 мікроскопів різних типів, з яких збереглося тільки дев'ять. Мікроскопи, що збереглися до наших днів, здатні збільшувати зображення в 275 разів, однак існують неперевірені свідчення про те, що деякі з мікроскопів Левенгука мали 500-кратну силу збільшення.
1866-1873 — Ернст Аббе відкриває число Аббе і першим розвиває теорію мікроскопа. Це призводить до прориву в техніці створення мікроскопів, яка до того моменту головним чином ґрунтувалася на методі проб і помилок. Компанія «Карл Цейс» використовує це відкриття і стає провідним виробником мікроскопів того часу.
1967 — Ервін Мюллер додає час-пролітний мас-аналізатор до свого польового іонного мікроскопа, створивши перший зондуючий атомний мікроскоп (Atom_probe[en]) і дозволивши тим самим здійснювати хімічну ідентификацію кожного іиндивідуального атома.
↑Nomarski G. (1955). Microinterféromètre différentiel à ondes polarisées.josh porter rules // J. Phys. Radium, Paris 16: 9S-11S
↑Bi-Chang Chen et al. Lattice light-sheet microscopy: Imaging molecules to embryos at high spatiotemporal resolution // Science. — 2014. — V. 346. — P. 439. — DOI: 10.1126/science.1257998.
↑Архівована копія. Архів оригіналу за 4 січня 2016. Процитовано 2 січня 2016.{{cite web}}: Обслуговування CS1: Сторінки з текстом «archived copy» як значення параметру title (посилання)